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2軸磁気MEMSミラー
 
 
・静電駆動方式MEMSミラー
高度な指向安定性が必要な光学系アプリケーションで静電駆動のMEMSミラーをご利用頂けます。
静電駆動方式がより優れたDC性能を有します。ミラー径は0.8mm〜2.5X2.0mmまで対応可能です。
・磁気駆動方式MEMSミラー
磁気マイクロミラーがリニアカレントアングルリスポンスを有しています。
1Dと2Dの磁気マイクロミラーがリニアカレントアングルリスポンスを有しています。
 
 

モデル

磁気方式

静電駆動方式

二軸

寸法 [mm]

Tilt angle [°]

応答周波数[Hz]

パッケージ

MM2536-2

X

-

 X

2.5x3.6

Max=±5

X=390/Y=240

-

MM160110-2

X

-

 X

16.0 x 11.0

Max=±1.5

X= 350/Y=200

-

TM10

-

X

 X

Ф1.0

X=±3.5/Y=±3.5

X=700/Y=700

TO46

TM2520

-

X

 X 2.5x2.0

X=±4.5/Y=±2.5

X=170/Y=360

TO5
 
 
 
 

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